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Methoden zur Funktionsüberwachung von Gassensoren mit Hilfe multimodaler Signale

Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS 29

Erschienen am 10.02.2017
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Bibliografische Daten
ISBN/EAN: 9783844050684
Sprache: Deutsch
Umfang: 150 S., 80 farbige Illustr., 92 Illustr.
Format (T/L/B): 1 x 21 x 14.2 cm
Einband: Paperback

Beschreibung

Ausgehend von einem Ansatz zur Selbstüberwachung, der zwei unterschiedliche Multisignalgewinnungsverfahren kombiniert, werden Messsysteme für die Fourier-basierte Impedanzspektroskopie (FoBIS) aufgebaut und Erkenntnisse zur Zustandsüberwachung von Metalloxidgassensoren gesammelt. Der temperaturzyklische Betrieb (TCO) mit Messung des Gleichstromwiderstands wurde - ausgehend von neuen Erkenntnissen zur Temperaturzyklusoptimierung - ebenfalls einzeln untersucht. Neben der Zustandsbestimmung, die durch eine hierarchische Klassifikation mit feiner Auflösung (85 ppm*min HMDSO) bei über 97-prozentiger Zuverlässigkeit möglich ist, ermöglicht die Auswertung von Relaxationsprozessen auch eine sehr vergiftungsstabile Gaserkennung.

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